美国商务部长霍华德·勒特尼克在最近的一系列会议上,当面告诉ASML的高管:我们怀疑你们的最先进光刻机,可能已经到了中国。

违反的是美国主导的出口管制规定。
ASML的反应很干脆:没有。
光刻机是什么机器
事情的核心是一台机器:EUV光刻机。

全称Extreme Ultraviolet Lithography,极紫外光刻。地球上唯一能用来制造最先进半导体的设备。台积电做Nvidia的GPU、苹果做A系列芯片,全靠这东西。
你印象里,一个机器能值多少钱?
一台Low-NA EUV卖1.83亿美元,新一代High-NA EUV卖3.8亿美元。
你猜光刻机有多大?
一台普通的光刻机体积庞大,甚至无法进行整机运输,必须拆解后用多架波音747货机运送,大概就是20辆卡车和40个集装箱吧!而High0NA EUV光刻机,需要43个货运集装箱内的250个货箱。
物理尺寸上相当于一辆双层巴士,重量大概150~180吨。
美国商务部长勒特尼克说,他们有证据—— shipments of EUV-related components and transport equipment。但拒绝向彭博、ASML或公众展示这些证据。

ASML CEO克里斯托夫·富凯的直接回应:
"ASML从未向中国交付过EUV设备,也没有向中国交付过任何专为EUV设备设计的组件、模块或设备。"
富凯的逻辑
这个荷兰人的反驳,有三个层次。
第一,商业逻辑不通。
ASML是欧洲市值最高的上市公司,大约7000亿欧元。EUV是它的垄断生意。为了卖一台机器给中国,冒着失去整个出口许可证的风险?富凯说这不符合商业逻辑。
第二,资产追踪严密。
ASML追踪每一台出厂的机器。要么在受监控的客户那里运行,要么已经拆解退回。而且ASML内部有一个严格的"防火墙"——接触EUV技术的员工文档和培训,和中国区的员工是完全隔离的。中国区的人坐在这堵墙的"另一边"。
第三,逆向工程不可能。
富凯的原话是:"你不能逆向工程一台你从未拥有过的机器。"
80%的EUV技术依赖于几十年的前置知识。光是解决产生极紫外光这个问题,就花了20年。中国没有一台EUV,就不可能知道它长什么样,更谈不上逆向。
这件事耐人寻味
美国商务部去年同意拿出1.5亿美元投资xLight——一家开发下一代光源技术的初创公司。xLight的目标,长期来看就是挑战ASML的EUV垄断。

xLight的CEO说自己是ASML的合作伙伴,不是竞争对手。但富凯不这么认为。
与此同时,Peter Thiel支持的Substrate公司也在做EUV替代技术。
联邦官员一边审查一个垄断企业,一边又在自己部门投资的初创公司里下注——这件事值不值得审视?
DUV才是真正悬在头顶的剑
EUV的事,美国没证据,ASML否认,暂时算各执一词。
但DUV(深紫外光刻机)才是真正要命的问题。
今年4月,美国国会两党议员提出了MATCH法案——Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act。翻译成人话就是:强迫美国盟友全面对齐对华芯片设备出口管制。
目前的状况是:ASML还能向中国卖DUV设备。中国占了ASML2026年预期营收的20%左右,绝大部分是DUV。

但MATCH法案一旦通过,DUV也会被禁。连现有的设备维修服务都要停。
ASML2025年从中国赚的钱占33%。2026年预期降到20%。如果MATCH法案落地,这个数字可能直接归零。
荷兰政府也在考虑跟进美国,计划出台新的出口管制。
中国自己的EUV
路透社去年12月报道过,中国科学家已经开发出EUV光刻机的原型机。团队由ASML的前工程师组成。这个项目被描述为"中国的曼哈顿计划"。
虽然离量产还远,但方向很清楚:被禁是迟早的事,中国必须自己做。

中美荷三方在这件事上的立场都很清晰:美国要封锁,荷兰要赚钱但要顾美国脸色,中国要自立。
一台机器,牵出的是全球半导体产业链最深的裂痕。
你觉得EUV光刻机会不会真的出现在中国?欢迎在评论区聊聊。